圧電薄膜 ZnO(酸化亜鉛)
[圧電セラミックス]

圧電薄膜 ZnO

圧電薄膜は、サファイアや石英などの媒体に、スパッタ法により酸化亜鉛(ZnO)C軸配向させることで得られます。


特徴

スパッタ法により薄膜を形成するため100MHz以上の高周波探触子が作製可能です。



水中センサとしての応用

・作製可能周波数:100MHz以上、400MHz以下

端面に球面レンズを設けたロッド状媒体(音響レンズ)もう一つの端面に酸化亜鉛(ZnO)C軸配向させセンサを構成します。

 媒体としてはサファイアや石英を用います。

・電気信号が酸化亜鉛(ZnO)で超音波に変換され音響レンズ内に平面波が伝搬し、音響レンズ端面の球面レンズで集束ビームに変換され水中に放射されます。



基本構造

ZnO_BasicZnO_TD   

 

ZnO_Sapphire

製品応用例

超音波顕微鏡用探触子


標準仕様
型番
公称周波数
(MHz)
音響レンズ
材質

レンズ曲率半径
(mm)
レンズ開口半角
(°)
-6dB 帯域幅
(%)
許容入力電力
(インパルスVp-p)
UPF-1.7
170
サファイア 1.0
30
30
20
UPF-4
400
サファイア 0.6
60
30
16

◇測定条件:室温25±3℃

※受注生産品です。納期はお問い合わせください。
※カスタマイズもご相談ください。




) 試料エコーは、レンズ端エコー(1)とレンズ端エコー(2)の間に出ます。


ZnO_sample


外形図

外形図(標準仕様)

ZnO_outline
単位:mm


ZnO_surface

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