W-357BMシリーズ 【高周波セパレート型】

BM発振器

   1MHzの超音波洗浄でサブミクロンのパーティクルを除去します

用途（バッチ洗浄機）

・磁気ヘッド洗浄
・シリコンウェーハ洗浄
・サファイアウェーハ洗浄
・半導体デバイス加工後の洗浄
・ハードディスク洗浄
・ダメージの出やすいアルミや鏡面研磨品等の洗浄

バッチ層挿絵

対象の汚れ

・パーティクル　　　　　　　　　　　　
・フラックス
・薬液

特長

・デジタル制御により、安定した発振が可能です。
・多彩なインターフェースにより、洗浄装置に合わせた制御が可能です。
・1W単位での超音波出力調整が可能です。

仕様

発振器

型式 W-357BM-600 W-357BM-1200
発振方式 単周波発振
定格出力 600W 1200W
出力可変範囲 100W~600W 200W~1200W
公称発振周波数 1MHｚ
電源入力 AC200V〜240V
単相 50/60Hz 1200VA		 AC200V〜240V
単相 50/60Hz 2400VA
インターフェース アナログ出力 4-20ｍA電流出力
接点出力 3点　アラーム出力、発振検出出力、電源ON出力
外部駆動入力 2点　センサ入力、リモート入力
RS485通信 MODBUS®プロトコル、RTUモード　*1
外形寸法（突起部は除く、ゴム足を含む）
WxDxHmm		 220×360×143 360×360×143　
質量  5kg 7kg

●使用周囲環境：温度：5~40℃　湿度：5~80％（ただし結露無きこと）
●電源コード長：3m

高周波利用設備許可申請の届出が必要
*1　MODBUSは、シュナイダーエレクトリックユーエスエーインコーポレーテッドの登録商標です。

振動子ユニット

ご要望に応じて特注振動子ユニットの製作も承ります。
　・最大許容入力：600W／1200W／1800W／2400W／3000Ｗ／3600Ｗ
　・対応ウェーハ：6インチ／8インチ／12インチ

BM_振動版

F Type　｜ 振動板タイプ

 

 

 

型式

W-357BM-600F

 W-357BM-1200F
発振器　型式 W-357BM-600 W-357BM-1200
最大許容入力 600W 1200W
公称駆動周波数 1MHｚ
有効輻射面
W×Dmm		 135×160 272×154
外形寸法
W×D×Hmm（配線、配管を含まず）		 250×220×68 355×245×68
材質 板：SUS316L　表面電解研磨
質量 3.3kg 7kg
対応ウェーハサイズ 6 inch 8 inch
振動子コード長 5m 5m×2

●接液部材質：振動板：SUS316L
●使用液温度範囲：5～80℃
●振動子：PZT

BM_槽

S Type　｜ 槽タイプ

 

型式 W-357BM-600S W-357BM-1200S
発振器　型式 W-357BM-600 W-357BM-1200
最大許容入力 600W 1200W
公称駆動周波数 1MHｚ
有効輻射面
W×Dmm		 135×160 135×160　2ヶ所
寸法
W×D×Hmm
（突起部を除く）		 外形 302×296×372(ゴム足含む） 496×336×372(ゴム足含む）
槽内 248×236×252 442×276×252
材質 槽：SUS316L  パッキン：バイトン、PTFE
ドレインバルブ 1/2 inch
質量 11.6kg 18kg
対応ウェーハサイズ 6 inch 6 inch ×2
振動子コード長 5m 5m×2

●接液部材質：振動板、槽：SUS316L　パッキン：PTFE　給水／排水用ニップル：SUS304
●使用液温度範囲：5～80℃
●振動子：PZT

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