圧電セラミックスは、超音波を発する圧電効果を持つやきものです。超音波を発生させるための圧電材料として、圧電セラミックス、圧電高分子膜、圧電薄膜を使用しています。
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圧電セラミックス素子−円形タイプ/円環タイプ/矩形タイプ
圧電高分子膜P(VDF-TrFE)は、重合体の溶解体または溶液から作製した膜に分極処理することで得られます。
圧電薄膜は、サファイアや石英などの媒体に、スパッタ法により酸化亜鉛(ZnO)をC軸配向させることで得ることができます。