圧電薄膜 ZnO(酸化亜鉛)
圧電薄膜 (ZnO)
圧電薄膜は、サファイアや石英などの媒体に、スパッタ法により酸化亜鉛(ZnO)をC軸配向させることで得られます。
特徴
スパッタ法により薄膜を形成するため100MHz以上の高周波探触子が作製可能です。
水中センサとしての応用
作製可能周波数:100MHz以上、400MHz以下
端面に球面レンズを設けたロッド状媒体(音響レンズ)のもう一つの端面に酸化亜鉛(ZnO)をC軸配向させセンサを構成します。
媒体としてはサファイアや石英を用います。電気信号が酸化亜鉛(ZnO)で超音波に変換され音響レンズ内に平面波が伝搬し、音響レンズ端面の球面レンズで集束ビームに変換され水中に放射されます。
基本構造
製品応用例
超音波顕微鏡用探触子
標準仕様
外形図(標準仕様)
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