圧電薄膜 ZnO(酸化亜鉛)

圧電薄膜(ZnO)

圧電薄膜 (ZnO)

圧電薄膜は、サファイアや石英などの媒体に、スパッタ法により酸化亜鉛(ZnO)をC軸配向させることで得られます。

特徴

スパッタ法により薄膜を形成するため100MHz以上の高周波探触子が作製可能です。

水中センサとしての応用

  • 作製可能周波数:100MHz以上、400MHz以下

  • 端面に球面レンズを設けたロッド状媒体(音響レンズ)のもう一つの端面に酸化亜鉛(ZnO)をC軸配向させセンサを構成します。
    媒体としてはサファイアや石英を用います。

  • 電気信号が酸化亜鉛(ZnO)で超音波に変換され音響レンズ内に平面波が伝搬し、音響レンズ端面の球面レンズで集束ビームに変換され水中に放射されます。

基本構造

圧電薄膜基本構造

 

 

製品応用例

超音波顕微鏡用探触子

標準仕様
超音波顕微鏡用探触子_標準仕様

 

 

外形図(標準仕様)
圧電薄膜_外形

 

 

圧電薄膜_試料

 

 

※受注生産品です。納期はお問い合わせください。
※カスタマイズもご相談ください。

 

 

 

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