石英振動体型洗浄機 [高周波]｜W-357-1MQG-SKC
石英振動体型
低ダメージ・高クリーン度を実現する次世代洗浄
2006年に石英振動体型超音波洗浄ユニットを世界で初めて実用化。
本方式では石英振動体に超音波を重畳させて半導体ウェーハを洗浄します。
バッチ式洗浄や流水式洗浄に比べて薬液使用量を削減できること、接液部が石英ガラスのみで、パッキン等のゴム材が接液しないため、高い清浄度を保つことが可能等の特徴があります。
また、石英振動体の形状を目的に応じてご用意することで、低ダメージ洗浄、大面積洗浄、べベル部(端面)やノッチ(ウェーハ端面の切り欠き)部の洗浄など、ニーズに応じた効果的な洗浄を行うことが可能になります。
概要
特長
微細化パターンのウェーハを低ダメージで洗浄
■石英振動体に超音波を重畳させて、半導体ウェーハを洗浄します
石英振動体から薬液を通じて半導体ウェーハに超音波振動を伝播させることで、接触部の薬液が振動して、その加速度によって表面の汚れを除去します。
■半導体ウェーハにダメージが少ない、クリーンな洗浄を実現します
薬液との接液部に石英を用いることで、パッキン等ゴム材を使用した装置と比べてゴムの溶出や摩耗がなくクリーンな洗浄を実現します。
■振動子冷却機能付きのため、振動子を気体(窒素等)で冷却することで周波数変動がなく安定した連続運転が可能。
また、冷却することで急激な温度変化がなく長寿命に。
用途
レジスト残渣除去
エッジング後、アッシング後のポリマー除去
Gate電極洗浄
CMP後の洗浄
仕様
■発振器
| 型式 | W-357-1MQG-SKC |
| 発振モード | 単周波発振 |
| 定格出力 | 12W |
| 公称発振周波数 | 1MHz |
| 電源入力 | AC100V～240V 単相 50/60Hz 300VA |
| 外形寸法 WxDxHmm |
180×250×100 （突起部は除く、ゴム足を含む） |
| 質 量 | 2.2kg |
●出力可変範囲：0W～12W （振動体の許容入力：振動子冷却のエアパージ使用時は連続10W)
●使用周囲環境：温度：15～35℃、湿度：10～85%
●外部駆動用接点の定格：超音波発振制御(制御側)接点入力：DC12V 16mA以上
警報用出力(本器)接点容量：DC24V 0.5A
■付属ケーブル：電源コード(AC100V/2m又はAC200V 2.4mから選択)、制御コード(5m)ｘ4
■振動体
| 流量 | 指定なし |
| 全長 | 159mm |
| チャック部寸法 | φ24mm |
| 照射面積 | 24cm2 |
| 質量 | 600g |
●使用液温度範囲：20～50℃
●振動子：PZT
●材質：振動体：石英ガラス、パッキン：シリコーンゴム、ケース：PCTFE
●コード長：出力コード1.5m+中継コード3.5m
●エアパージ用継手：適合チューブ(外径φ6)
※2MHz、3MHzも特注仕様にて対応いたします。
